সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার স্লারি

প্রয়োগের ক্ষেত্র: সিলিকন ওয়েফারের তাপ বৃদ্ধি এবং অক্সিডেশন সঞ্চালনের জন্য অর্ধপরিবাহী উত্পাদন শিল্পে ব্যবহৃত ডিফিউশন ফার্নেস এবং উচ্চ-তাপমাত্রার অক্সিডেশন ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে, ক্যান্টিলিভার প্যাডেল হল ওয়েফার লোডিং সিস্টেমের একটি মূল উপাদান যাতে ওয়েফার এবং ইউনিফর্ম ফার্নেস আরও বেশি নিশ্চিত করা যায়। অভিন্ন প্রসারণ এবং জারণ। সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চ শক্তি, উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, ছিদ্রহীনতা, অ্যাসিড এবং ক্ষার ক্ষয় প্রতিরোধ, উচ্চ তাপমাত্রায় কোন দূষণ, ভাল তাপীয় শক স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ লোডিং ক্ষমতা দ্বারা চিহ্নিত করা হয়। LPCVD আবরণের অনুরূপ তাপীয় সম্প্রসারণের সহগের সাথে মিলিত, LPCVD-তে সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলির ব্যবহার উল্লেখযোগ্যভাবে রক্ষণাবেক্ষণের পরিচ্ছন্নতার চক্রকে প্রসারিত করতে পারে এবং দূষণকে ব্যাপকভাবে কমাতে পারে।